미세 가공의 물리학: 프런트 엔드 공정

이 과정은 실리콘 집적 회로 소자 제작에 필수적인 프런트엔드 공정의 기본 원리를 심도 있게 다룹니다. 학습자들은 산화, 확산, 이온 주입, 에피택시와 같은 핵심 공정의 고급 물리 모델과 실무적인 측면을 탐구하며, 실리콘 게르마늄(SiGe)과 같은 신소재에 대해서도 학습하게 됩니다.