Thông qua bài giảng này, bạn có thể nhận được các thông tin liên quan đến kỹ thuật quy trình và phát triển quy trình lắng đọng màng mỏng (Thin film deposition)! Đối với kỹ sư kỹ thuật quy trình và phát triển quy trình, việc hiểu rõ về thiết bị cũng quan trọng không kém gì quy trình. Trong bài giảng này, tôi sẽ giới thiệu về thiết bị cũng như chia sẻ về kinh nghiệm làm việc cá nhân của mình. Hãy lồng ghép nội dung bài giảng này vào bản tự giới thiệu & sơ yếu lý lịch để tận dụng một cách hiệu quả nhé!!
18 học viên
Độ khó Cơ bản
Thời gian Không giới hạn
Cấu tạo của thiết bị PECVD
Giới thiệu thực tế công việc
Có ai ở đây đang chuẩn bị cho vị trí kỹ thuật quy trình (process technology) hoặc phát triển quy trình (process development) trong mảng màng mỏng (Thin film) không ạ?!
Khi tìm tài liệu học tập, mọi thứ cứ rời rạc từng chút một, bạn có cảm thấy bế tắc không..
Hồi tôi chuẩn bị xin việc, tôi cũng đã vất vả rất nhiều để tìm tài liệu học tập ạ ㅠㅠ
Lúc đó thật sự là thông tin bị phân tán khắp nơi, nên rất khó để xác định được hướng học tập đúng đắn.
Tôi cũng đã rất mịt mờ về việc lý thuyết và quy trình thực tế kết nối với nhau như thế nào,
Khi sắp xếp từng thứ một, cuối cùng cơ hội tốt cũng đã đến,
Hiện tại tôi đang làm việc tại một công ty bán dẫn nước ngoài.
Vì vậy... để giúp ích cho các bạn hậu bối, tôi đã thực hiện bài giảng về phát triển quy trình Thin film!
▶ Những ai tò mò về công việc kỹ thuật quy trình và phát triển quy trình bán dẫn
▶ Những ai muốn phát triển bản thân thông qua sơ yếu lý lịch và bản giới thiệu bản thân
Hy vọng bạn sẽ nhận được nhiều thông tin hữu ích thông qua bài giảng này!!
Khóa học này dành cho ai?
Những người tò mò về công việc thực tế
Những người đang băn khoăn không biết nên viết bản tự giới thiệu và sơ yếu lý lịch theo hướng nào
Cần biết trước khi bắt đầu?
Sẽ rất tốt nếu bạn biết về bồi lắng (Deposition)!
18
Học viên
3
Đánh giá
5.0
Xếp hạng
1
Khóa học
Hiện tại, tôi đang làm kỹ sư quy trình CVD, ALD tại một công ty bán dẫn đa quốc gia.
Tôi muốn chia sẻ kinh nghiệm của mình với các bạn đang tìm việc, đồng thời hỗ trợ phản hồi về bản tự giới thiệu bản thân hoặc sơ yếu lý lịch (CV) của các bạn.
Tất cả
7 bài giảng ∙ (3giờ 28phút)
Tài liệu khóa học:
Tất cả
3 đánh giá
5.0
3 đánh giá
Đánh giá 2
∙
Đánh giá trung bình 5.0
Đã chỉnh sửa
5
Giảng viên đã giải thích rất dễ hiểu từ góc độ kỹ sư thực tế về nguyên lý quy trình Deposition, thiết bị, cũng như các điểm cần lưu ý chủ yếu và điều kiện quy trình mà kỹ sư công nghệ cần xem xét, giúp ích rất nhiều cho quá trình xây dựng chiến lược tìm việc và tổng hợp kinh nghiệm của tôi.
Tôi cũng rất vui vì đã giúp được bạn :) Nếu có bất kỳ câu hỏi nào, hãy nói với tôi bất cứ lúc nào nhé, Chúc bạn nhất định sẽ thành công trong việc xin việc vào vị trí công ty mong muốn!!
Đánh giá 2
∙
Đánh giá trung bình 5.0
5
Tôi đã rất tò mò về quy trình bán dẫn và nội dung này thực sự rất đầy đủ và giúp ích cho tôi rất nhiều. Xin cảm ơn!!!
Cảm ơn bạn đã phản hồi :) Hãy giới thiệu thật nhiều cho những người xung quanh nữa nhé!! Nếu có thắc mắc gì bạn cứ để lại câu hỏi bất cứ lúc nào nha!
Chào bạn, tôi thấy bạn đang chuẩn bị cho buổi phỏng vấn tại một công ty thiết bị bán dẫn. Vì đây là công ty liên quan đến quy trình tiền xử lý (Front-end) nên việc bạn nghiên cứu kỹ về mảng này là rất tốt! Dưới đây là ý kiến phản hồi cho những thắc mắc của bạn: 1. **Về việc các quy trình như ALD ngày càng trở nên quan trọng do giới hạn vật lý của thiết bị quang báo (EUV):** Đúng vậy. Khi thiết bị EUV đạt đến giới hạn về độ phân giải vật lý (ngay cả khi có High-NA EUV), việc thu nhỏ kích thước mạch chỉ bằng quang báo sẽ trở nên khó khăn. Do đó, các kỹ thuật như đa phơi sáng (Multi-patterning) sử dụng ALD để tạo ra các lớp đệm (spacer) nhằm chia nhỏ khoảng cách mạch đang trở nên thiết yếu. Ngoài ra, khi cấu trúc thiết bị chuyển từ phẳng sang 3D (như FinFET, GAA), việc lắng đọng các màng mỏng đồng nhất trên các cấu trúc phức tạp là cực kỳ quan trọng, điều mà ALD thực hiện tốt nhất. Vì vậy, tầm quan trọng của ALD chắc chắn sẽ ngày càng tăng cao. 2. **Về tỷ trọng của PECVD so với LPCVD hay ALD trong các doanh nghiệp Big Tech:** Không hẳn là PECVD được sử dụng "nhiều hơn" theo nghĩa thay thế các loại khác, mà là mỗi loại có vai trò riêng. Tuy nhiên, PECVD có lợi thế lớn về năng suất (Throughput) vì tốc độ lắng đọng nhanh và có thể thực hiện ở nhiệt độ thấp, giúp bảo vệ các lớp vật liệu bên dưới không bị hư hại do nhiệt. Trong sản xuất hàng loạt, năng suất là yếu tố sống còn nên PECVD chiếm tỷ trọng rất lớn. LPCVD vẫn được dùng cho các màng chất lượng cao cần độ tinh khiết tốt, còn ALD dùng cho các lớp cực mỏng và cấu trúc phức tạp. Hiện nay, xu hướng là chuyển dần từ CVD sang ALD ở những vị trí trọng yếu, nhưng PECVD vẫn là "ngựa thồ" chính trong dây chuyền sản xuất. 3. **Về HBM, việc xếp chồng và kích thước Wafer:** - Với HBM (High Bandwidth Memory), việc "xếp chồng" (Stacking) là cốt lõi. Tuy nhiên, đây thường được coi là công nghệ đóng gói tiên tiến (Advanced Packaging) nằm ở ranh giới giữa tiền xử lý và hậu xử lý. Trong tiền xử lý, việc tạo ra các lỗ thông xuyên silicon (TSV) và lắng đọng các lớp cách điện/dẫn điện bên trong đó là cực kỳ quan trọng. - Về câu hỏi "tại sao không làm Wafer lớn hơn thay vì làm nhỏ đi": Hiện tại tiêu chuẩn là 300mm (12 inch). Việc tăng kích thước Wafer (ví dụ lên 450mm) đòi hỏi phải thay đổi toàn bộ hệ thống thiết bị trên toàn thế giới, chi phí đầu tư là cực kỳ khổng lồ và gặp nhiều vấn đề về độ võng vật lý của tấm Wafer. Do đó, thay vì làm Wafer to hơn, người ta chọn cách thu nhỏ kích thước linh kiện (để nhét được nhiều chip hơn trên một Wafer) và xếp chồng lên cao (để tăng hiệu suất trên cùng một diện tích bề mặt). **Về năng lực quan trọng nhất trong công ty thiết bị bán dẫn:** - **Đối với Thiết kế (Design):** Không chỉ là sử dụng thành thạo CAD (AutoCAD, SolidWorks), mà quan trọng nhất là hiểu biết về **"Quản lý dung sai"** và **"Lựa chọn vật liệu"** phù hợp với môi trường khắc nghiệt (chân không, huyết tương, hóa chất ăn mòn). - **Đối với Quản lý/Bảo trì (Maintenance/Field Engineer):** Khả năng giải quyết vấn đề (Troubleshooting) dựa trên dữ liệu và hiểu biết về sự tương tác giữa phần cứng và các thông số quy trình (Process Parameter). Vì bạn không chuyên ngành điện tử, hãy tập trung thể hiện rằng bạn hiểu "nguyên lý vận hành của thiết bị" tác động thế nào đến "kết quả của quy trình". Chúc bạn có kỳ phỏng vấn thành công!
Tôi xin trả lời các câu hỏi mà bạn đã đặt ra! 1. Giới hạn vật lý của EUV và tầm quan trọng của ALD: Mặc dù việc ASML đưa vào sử dụng EUV đã giúp đạt được sự tinh vi hóa chất bán dẫn ở một mức độ nhất định, nhưng nó đang vấp phải các giới hạn vật lý và hóa học như giai đoạn nhiễu xạ ánh sáng và sự sụp đổ của chất cản quang (PR). Do đó, cùng với EUV, công nghệ ALD và Multi-patterning để lắng đọng các màng mỏng và đồng nhất là vô cùng thiết yếu. Nói thêm một chút về ALD, vì ALD gần như là công nghệ duy nhất có thể phủ màng mỏng một cách đồng nhất vào các khe hẹp và sâu ở cấp độ lớp nguyên tử, nên tầm quan trọng của nó đang ngày càng tăng cao. 2. Tỷ trọng của PECVD: Vì PECVD có thể thực hiện quy trình ở nhiệt độ tương đối thấp so với LPCVD, nên nó có thể bồi đắp các màng mỏng nhanh chóng trong khi vẫn bảo vệ được các linh kiện hoặc đường dây dẫn vốn nhạy cảm với nhiệt. Tuy nhiên, để lắng đọng đồng nhất trong các khe hẹp và sâu, ALD đang được sử dụng như một lựa chọn không thể thay thế, vì vậy PECVD và ALD đang được sử dụng bổ trợ cho nhau. Do đó, rất khó để nói rằng quy trình nào đang được sử dụng nhiều hơn. PECVD có ưu điểm là có thể lắng đọng nhanh chóng mà không gây hư hại cho đường dây dẫn, còn ALD có ưu điểm là có thể lắng đọng đồng nhất giữa các khe hẹp và sâu. 3. Tầm quan trọng của HBM và tiền công đoạn (?) & Kích thước Wafer: Như bạn đã biết, HBM là công nghệ xếp chồng các chip DRAM theo chiều dọc và kết nối chúng bằng cách khoan các lỗ siêu nhỏ gọi là TSV (hậu công đoạn). Trong quá trình hình thành lớp cách điện và lấp đầy vật liệu dẫn điện bên trong các lỗ này, các công nghệ tiền công đoạn như PECVD/ALD đang thâm nhập sâu vào lĩnh vực hậu công đoạn. Nói cách khác, khi ranh giới giữa tiền công đoạn và hậu công đoạn đang dần xóa nhòa, tầm quan trọng của việc lắng đọng đang có xu hướng tăng lên. Ngoài ra, wafer hiện nay là loại 300mm (12 inch). Trong quá khứ đã từng có những nỗ lực nhằm tăng kích thước wafer, nhưng vì hầu hết tất cả các thiết bị đã được chuẩn hóa theo kích thước 300mm, nên hiệu quả so với chi phí thay thế thiết bị không cao, dẫn đến việc quay trở lại với 300mm. Vì vậy, thay vì tăng kích thước wafer, việc chế tạo nhỏ hơn hoặc xếp chồng cao hơn trong một diện tích cố định sẽ có lợi hơn nhiều về mặt kinh tế và kỹ thuật, do đó xu hướng hiện tại vẫn đang được duy trì. 4. Kế hoạch sắp tới: Tôi đã có kế hoạch chuẩn bị một bài giảng mang tính thực tiễn hơn một chút, nhưng tôi vẫn đang phân vân không biết nội dung đó có giúp ích được cho các bạn đang chuẩn bị xin việc hay không. Nếu bạn có thể cho tôi phản hồi về việc bạn cần bài giảng như thế nào, tôi sẽ rất cảm kích! 5. Năng lực quan trọng trong các công ty thiết bị bán dẫn: Vì tôi làm bên mảng nghiên cứu quy trình lắng đọng chứ không phải bộ phận thiết kế, nên rất khó để nói sâu về thiết kế. Tuy nhiên, liên quan đến công việc thiết kế, tôi có thể nói rằng công việc này không chỉ dừng lại ở việc sử dụng thành thạo các công cụ CAD, mà sẽ rất có lợi nếu bạn có hiểu biết cơ bản về nhiệt động lực học/cơ học chất lưu. Năng lực dự đoán và đưa ra các giải pháp về dòng chảy của khí hoặc nhiệt bên trong thiết bị, cũng như các biến dạng cơ học tương ứng là rất quan trọng. Về mảng quy trình, năng lực cốt lõi là hiểu rõ các phản ứng hóa học của khí hoặc đặc tính của Plasma và khả năng phân tích dữ liệu để tìm ra công thức quy trình (recipe) tối ưu. Thấy bạn đặt câu hỏi dù không phải chuyên ngành, tôi cảm nhận được bạn đã chuẩn bị rất chăm chỉ! Tôi không biết câu trả lời của mình có giúp ích được gì không, nhưng nếu bạn cứ chuẩn bị từng bước một như hiện tại, chắc chắn bạn sẽ trúng tuyển vào công ty mong muốn!!
Em thực sự cảm ơn thầy vì câu trả lời chi tiết và tận tình ạ! Cá nhân em nghĩ rằng nếu thầy có thể giảng dạy những nội dung giúp học viên học hỏi được các kỹ năng thực tế thì sẽ rất hữu ích. Thật ra, đối với các khóa đào tạo về quy trình bán dẫn, chúng ta có thể dễ dàng tiếp cận trực tuyến và cũng có thể chuẩn bị ở mức độ nào đó bằng cách tìm kiếm thông tin. Tuy nhiên, ở góc độ thực tế về việc các kỹ sư thực sự làm gì trong công việc hiện nay thì thông tin vẫn còn khá thiếu hụt, nên nếu có thể học được những phần đó thì không còn gì bằng ạ!! Hiện tại em đang chuẩn bị phỏng vấn cho vị trí kỹ thuật sản xuất và kỹ sư CS tại các công ty thiết bị tiền quy trình (Front-end). Dù không cần quá chi tiết, nhưng em rất tò mò về quy trình tổng thể diễn ra như thế nào, sự hợp tác giữa các bộ phận được tiến hành ra sao. Ngoài ra, nếu thầy có thể chia sẻ thêm về những điều nhỏ nhặt nhưng hữu ích nếu biết, chẳng hạn như "lý do tại sao kích thước wafer lại cố định" mà thầy đã đề cập, thì buổi học sẽ thực sự rất giá trị ạ! Một lần nữa em xin cảm ơn thầy rất nhiều vì đã trả lời tận tình cho em!
Đánh giá 1
∙
Đánh giá trung bình 5.0
5
Cảm ơn bạn :) Tôi hy vọng khóa học của mình sẽ phần nào giúp ích cho công việc của bạn!
Khám phá các khóa học khác trong cùng lĩnh vực!
Giảm 25% cho thành viên mới
396.072 ₫
25%
528.092 ₫
![[ONE PASS] Kỹ năng máy tính của cô Kang cấp 2Hình thu nhỏ khóa học](https://cdn.inflearn.com/public/courses/335729/cover/6822af7e-3c44-43fc-b654-aff82a9a2cef/335729.png?w=420)
![Tiếp thu nhanh chóng [Đạt kỹ năng thực hành máy tính cấp 2 trong 5 ngày]Hình thu nhỏ khóa học](https://cdn.inflearn.com/public/courses/330613/cover/820dc36f-c51d-4917-9eab-2fa9d5a291e5/330613-eng.png?w=420)
