Vật lý của Chế tạo Vi mô: Quy trình Tiền xử lý (Front End Processing)

Khóa học này đi sâu vào các nguyên lý cơ bản của các quy trình front-end thiết yếu để chế tạo thiết bị trong mạch tích hợp silicon. Người học sẽ khám phá các mô hình vật lý tiên tiến và các khía cạnh thực tiễn của những quy trình then chốt như oxy hóa, khuếch tán, cấy ghép ion và epitaxy, cùng với các vật liệu mới nổi như Silicon Germanium (SiGe).